扬州悬片式真空泵

时间:2021年07月15日 来源:

螺杆真空泵因其排气通道简单,进入泵内的液体可迅速排出,且轴功率无明显增加。因爪形真空泵为多级串联结构,上级与下级之间均需安装中壁形成内部通道,该内部通道在抽除粉尘等时易堵塞且不易清洗;而螺杆真空泵的级间无需通道,是直接将气体从吸气侧推送至排气侧,在抽除可凝性气体及粉尘等时不易堵塞且泵腔清洗非常方便:启动泵后直接从泵口充入水或合适的清洗剂即可将泵清洗干净。其它部分真空泵的特点:水环式真空泵的优点:结构简单,成本低,应用范围较宽,适合抽除大量水蒸汽,有机溶剂等,对粉尘,颗粒物不敏感,可以实现对易燃易爆的气体的抽除、压缩。真空泵的保养要如何进行?扬州悬片式真空泵

分子泵适用于在要求清洁的高真空和超高真空的仪器及设备上使用。也可用来作为离子泵、升华泵、低温泵等气体捕集超高真空泵的前级预抽真空泵使用,这将获得更低的极限压力或更清洁的无碳氢化合物的真空环境。复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合,集两种泵的优点于一体,在很宽的压强范围内 (10-6~1Pa) 具有较大的抽速和较高的压缩比,很好地提高了出口压强。复合式分子泵的形式很多,按结构分,主要有两种:涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合;涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合;涡轮级主要用来提高泵的抽速,一般采用有利于提高抽速的叶片形状,级数在10级以内。牵引级主要用来增加泵的压缩比,提高泵的出口压强。油压真空泵哪个牌子好真空泵注意事项:通电试运转时,须取下电机皮带。

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即气体捕集泵和气体传输泵。其普遍用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等,这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。近年来, 伴随着我国经济持续高速发展,真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头,同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下,我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩 复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速单为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸汽被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵,以满足不同场合的需要。根据系统工况配用合适的罗茨真空泵可组成干式真空泵机组,可很好地提高低压区的抽气速率并减小功耗。

真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。每种泵都有一定的工作压力范围,因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。真空泵在其工作压力下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。选择真空机组:(1) 当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足工艺要求。(2) 有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压力低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵,我们称之为真空泵机组,它能使真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的真空泵,由于不同的真空泵对抽除的气体要求有不同的要求,例如:在一般情况下罗茨-旋片机组不适用于含有较多可凝性气体的系统。真空泵换油期限要按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑。油压真空泵哪个牌子好

油扩散泵的比较大出口压强取决于比较后一级喷嘴的工作状态。扬州悬片式真空泵

在复合分子泵的设计中,必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。喷射真空泵:分水喷射泵、气体喷射泵和蒸汽喷射泵三大类喷射真空泵是利用液体或者气体的高速射流携带被抽气体,使被抽容器内获得一定真空度的一种低真空泵。水喷射泵是用水作为工作介质,通过高速射流来引射被抽气体,使容器达到一定真空度的粗真空获得设备。单级泵的极限压强为3.3kPa,两级串联可获得好一些的真空度,主要受水饱和蒸汽压的限制。可单独使用,也可作为其他真空泵的前级。扬州悬片式真空泵

信息来源于互联网 本站不为信息真实性负责